최고의 기술, 최고의 품질로
고객 만족 서비스를 실현하는 ㈜대찬테크
고객사
- LCD Glass ESC(Electro Static Chuck, 정전척)
- 6~8.5G ESC
- Quartz BellJar 8인치, 10인치
- Quartz Disk, Focus Ring
- Plate Exhaust, Shutter Disk
- Feed Through Coating(진공 배기 연결관 코팅)
- 반도체 부품 Heater Chuck
- 이중 Wall Liner Set (YAC, TEL)
- Ceramic Focus Ring
- Sub Electrode
- Upper Insulator
- Poly Upper Chamber, Mater Upper Chamber
- Edge Ring
